AOI检测(Automatic Optical Inspection)是一种利用光学成像技术对CIS影像芯片进行缺陷检测的方法。该系统包含一个主动光源,将光照射到CIS影像芯片表面上,透过光线的反射,被相机镜头收集,形成CIS表面影像。这个影像可以通过影像辨识软件进行分析和处理,自动辨识CIS芯片表面缺陷。 AOI检测的优点在于,它可以高效、快速地检测CIS芯片表面的缺陷,包括瑕疵、污染、颗粒等等。
尽管AOI检测在CIS芯片的生产中有着很多优点,但是它也存在着一些局限性。由于CIS芯片的表面特性和缺陷类型多种多样,而且还受到光照等环境因素的影响,因此需要针对不同类型的CIS芯片进行不同的光学参数设置和算法调整。同时,需要在整个生产线上不断地对AOI检测系统进行校准和维护,以保证检测的准确性和稳定性。
最重要的一点局限,AOI的检测仅限于CIS芯片表面的特征,对于芯片内部的制程参数,例如光转电的过程中的特性,无法透过AOI观察到,因此AOI无法提供完整的CIS性能评估与改进参考。